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PLUTO-M等离子清洗机/处理机

更新时间:2021-03-23

简要描述:

PLUTO-M等离子清洗机/处理机 是针对于高校,科学研究所和企业实验室,或者小批量生产的创新性企业而研发的创新型实验平台。我们收集了大量客户使用信息,分析应用需求,将多年设计和制造经验应用于小型化,多功能的等离子体表面处理设备。

型号:点击量:20
品牌自营品牌应用领域环保,生物产业,能源,电子

PLUTO-M等离子清洗机/处理机

产品特点:

等离子源采用频率为13.56MHz射频发生器,同时具备物理清洗和化学清洗能力。

电源功率为200W,覆盖常规处理需求

创新设计,可调整电极之间距离,调整等离子体浓度和强度,大提升处理效率和能力

真空腔体和管道连接件均采用316不锈钢,电极6061航空铝合金,配件材质精良,保证设备稳定高效运行

样品处理面积可达125mm(大处理面积可达200mm,如有需求请咨询销售人员)

4.3寸工业级触摸屏,操作简单,可设置多种实验参数

性能稳定可靠,质量稳定,自主研发,售后有保障

PLUTO-M等离子清洗机/处理机

产品参数:

1. 真空腔规格: 316不锈钢腔体,直径210mm*(深)230mm 约4L

2. 电极:两个自适应平板电极,材质T6061铝合金

3. 电极尺寸:120*135mm 间距20~75mm 可调

4. 等离子体发生器:RF射频发生器,频率:13.56MHz

5. 功率:0-200W连续可调,精度1W

6. 气体控制:针式气体流量阀,标配1路气体

7. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏

控制软件功能:界面显示实时工作状态,

可显示设置值与实际值,便于实时控制。

可自由设置等离子功率,通入气体时间

全手动控制和全自动控制可选

8. 保护装置:一键急停保护按钮

等离子体表面处理系统Pluto-M​参数(标准配置)

外部尺寸

404*640*515mm

 

真空腔尺寸

直径210mm*230mm

不锈钢腔体

电极尺寸

125*125mm

多空自适应平板电极

等离子体发生器

RF射频发生器,频率:13.56MHz

自适应阻抗匹配电源

功率

0-200W连续可调

精度1W

真空计

热电偶真空计 0-1000mT

 

供气

1路气体

6mm国标连接件(软管)

控制方式

4.3寸触摸屏

 

可 选 配 置

ALC

纯铝腔体

 

RF-300

等离子体发生器

频率13.56MHz ,0-300W自动阻抗匹配电源

可调电极

可调节电极间距

电极间距20-60mm可调,改变等离子体场浓度特性

CM装置

沉积镀膜模块

用于改变表面特性:

1.    沉积CF材料,样品表面可以具有憎水的特性

2.    沉积含苯材料,样品表面起到绝缘防水的特性

3.    沉积含有羟基的材料,提高样品表面和其他材料的结合效果。

GP装置

气体纯化装置

 

PPU

粉体处理装置

用于处理微纳米级别颗粒

 

气体收集装置

用于收集等离子体化学反应后的气体

 

小型氧气发生器

用于制备氧气,可取代氧气罐

 

气体混合装置

可以根据可以要求进行混气设计

 

感应耦合模块

感应耦合等离子体装置

 

加热电极模块

电极可以加热,室温~200度可调。

 

光谱仪模块

可以增加光谱仪的接口,检测等离子体光谱变化

 

电极转换模块

可以自由变换电极设计,样品可以放在射频电极上,也可以放在地电极上。从而实现不同的处理效果。

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